Verbundvorhaben Oxycontrol: Energieeffiziente Beschichtungsprozesse zur Herstellung spektral selektiver Schichten auf Bauteiloberflächen; Teilvorhaben: Untersuchungen zur Erweiterung von Netzteilen für schnelle O2-Regelung von Beschichtungsprozessen.
Zeitraum
2017-11-01 – 2021-02-28
Bewilligte Summe
107.765,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03ET1519D
Leistungsplansystematik
Energiesparende Industrieverfahren - Fertigungstechnik [EA3251]
Verbundvorhaben
01180655/1 – Oxycontrol: Energieeffiziente Beschichtungsprozesse zur Herstellung spektral selektiver Schichten auf Bauteiloberflächen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESN2)
Förderprogramm
Energie
Im Rahmen des Projektvorhabens Oxycontrol soll der Herstellungsprozess spektral selektiver Schichten auf Bauteiloberflächen auf Energieeffizienz hin optimiert werden. Es werden ein schneller und hochempfindlicher Sauerstoffsensor sowie eine Echtzeit-Prozessregelung entwickelt. Dies ermöglicht die Herstellung kritischer Metalloxidschichten mit hohem Durchsatz und niedrigem Energieaufwand. Schließlich werden industrierelevante prozesskritische oxidische Schichten sowie Low-E- und Solar Control-Schichten mit der neuen Prozesssteuerung eingefahren, um die Eigenschaften der Schichten sowie die Prozessstabilität zu demonstrieren. Weiterhin ist das Ziel, den Energieaufwand bei der Herstellung oxidischer Schichten um einen Faktor 2 zu reduzieren.
Weitere Informationen