Energieeffiziente Plasmabeschichtung bei reduziertem Energieeintrag mittels fernabfragbarer SAW-gestützter Prozessführung; Teilprojekt: Entwicklung von Antennenstrukturen und Verfahren für fernabfragbare SAW-Sensoren in der Plasmabeschichtung
Zeitraum
2011-08-01 – 2014-07-31
Bewilligte Summe
379.873,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03ET1031B
Leistungsplansystematik
Energiesparende Industrieverfahren - Maschinenbau, Fahrzeugbau, Elektrotechnik, Feinmechanik, Optik, EBM-Waren [EA3250]
Verbundvorhaben
01088645/1 – Energieeffiziente Plasmabeschichtung mittels SAW-gestützter Prozessführung (EEP-Prozess)
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESN2)
Förderprogramm
Energie
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