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Verbundvorhaben DIANA: Entwicklung des Diamantdraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologien zur Silizium-Waferherstellung; Teilvorhaben: Wiederverwertung des gebrauchten Kühlschmierstoffes aus dem Diamantdraht-Wafersägeprozess

Zeitraum
2016-07-01  –  2019-06-30
Bewilligte Summe
194.780,61 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324087D
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
01171054/1  –  Entwicklung des Diamantdraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologien zur Silizium-Waferherstellung
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
 
Nach dem Sägen von Siliziumwafern für die Photovoltaik mit diamant-besetzten Drähten fällt ein Kühlschmierstoff an, für dessen Wiederverwertung eine spezielle Technologie notwendig ist. Für diese muss ein Prozess zur vollständigen Abtrennung des Sägeabriebs entwickelt werden. Anschließend sind der flüssige und der feste Teil des Kühlschmierstoffs so aufzubereiten, dass sie wirtschaftlich verwertbar sind. Da der feste Sägeabrieb hauptsächlich aus Silizium besteht, soll eine Technologie zur Umwandlung von diesem Material in stückiges Rohsilizium mit einer Reinheit von 98,5% oder höher entwickelt werden.
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