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Integration erfolgreicher Prozessinnovationen in die Forschungsumgebung des SolarTeC - ProSolar

Förderzeitraum
2015-03-01  –  2017-12-31
Bewilligte Summe
5.616.620,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325820
Leistungsplansystematik
Forschungsinfrastruktur [EB1080]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIC6)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
 
Es sollen folgende Prozesserweiterungen des SolarTeC durchgeführt werden: - Implementierung der ICP AlOx Abscheidung auf der SINGULAR Anlage des ISFH. - Aufbau eines LP-CVD Ofens zur Abscheidung von unterschiedlich dotierten poly-Si Schichten. - Erweiterung des Stringers auf 4, 5 und 6 Busbar Konfigurationen in Kombination mit Ganz- und Halbzellen. - Aufbau eines ICP-MS-Messsystem (Inductively Coupled Plasma - Mass Spectrometry) zur Spurenanalyse in wässrigen Lösungen und Beurteilung der Effizienz von vereinfachten Reinigungssequenzen. Die ICP AlOx Abscheidung ist aktuell nur mit einer Laboranlage am ISFH mit extrem geringem Durchsatz möglich. Der Stringer kann derzeit nur 3 Busbar Zellen im Format 156 mm × 156 mm verlöten. Die LP-CVD Abscheidung ist zurzeit nur bei einem externen Partner möglich, jedoch nur mit sehr geringem Durchsatz. Das ProSolar Projekt würde es ermöglichen, diese drei neuen Prozesse am ISFH in Kooperation mit der deutschen PV Industrie auf industriellen Prozessanlagen weiterzuentwickeln. Ein weiteres Ziel des ProSolar-Projektes ist es, mit Hilfe eines neu zu installierenden ICP-MS Messgerätes geringste Metallverunreinigungen des Silizium-Wafers nachweisen zu können. Das ICP-MS-Verfahren soll zur Entwicklung von effektiven und dennoch kostengünstigen Reinigungssequenzen genutzt werden. Das Projekt gliedert sich in folgende 4 Arbeitspakete. AP1: Implementierung der ICP AlOx Abscheidung auf der SINGULAR. AP2: Aufbau eines LP-CVD Ofens. AP3: Erweiterung des Stringers auf 4, 5 und 6 Busbar Konfigurationen in Kombination mit Ganz- und Halbzellen. AP4: Aufbau eines ICP-MS-Messsystem (Inductively Coupled Plasma - Mass Spectrometry). Innerhalb der ersten 12 Monate werden entsprechende Anlagen evaluiert und aufgebaut. Anschließend werden diese Anlagen eingefahren, so dass die Nutzung möglich ist.
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