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Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Methoden der Inline-Inspektion und deren Grundlagen, Methoden der empirischen Datenanalyse zur Defektidentifikation sowie Methoden der Detailanalyse zur Ermittlung von Defektursachen

Förderzeitraum
2019-12-01  –  2021-11-30
Bewilligte Summe
1.799.999,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1043C

Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Methodenentwicklung spektrale Inspektion

Förderzeitraum
2019-12-01  –  2021-11-30
Bewilligte Summe
374.643,00 EUR
Ausführende Stelle
ISRA VISION AG, Darmstadt
Förderkennzeichen
03EE1043D

Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen

Förderzeitraum
2019-12-01  –  2021-11-30
Bewilligte Summe
319.120,00 EUR
Ausführende Stelle
Hennecke Systems GmbH, Zülpich
Förderkennzeichen
03EE1043B

Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen, Teilvorhaben: Datenanalyse und Defektbewertung sowie Referenzproben und Anforderungsprofile für die Methodenentwicklung einschließlich Methodenevaluation

Förderzeitraum
2019-12-01  –  2021-11-30
Bewilligte Summe
549.116,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1043A