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Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Anlagenentwicklung für das selektive Laserdotieren

Zeitraum
2016-09-01  –  2020-08-31
Bewilligte Summe
385.940,93 EUR
Ausführende Stelle
3D-Micromac AG, Chemnitz, Sachsen
Förderkennzeichen
0324079C
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01171013/1  –  Hochdurchsatz für Hocheffiziente Emitter mittels Niederdruck POCI3-Diffusion
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
 
Ziel des Gesamt-Vorhabens POLDI ist die Entwicklung von Verfahren zur wirtschaftlichen Herstellung von Hocheffizienz-Emittern mit niedriger Ladungsträgerrekombination. Dazu wird das Teilvorhaben der 3D-Micromac mit der Anlagen- und Prozessentwicklung im Bereich Laserdotieren, der Prozessintegration in den PERC (Passivated Emitter and Rear Cell) Prozess sowie der Kostenkalkulation einen wichtigen Beitrag leisten. Bei der Anlagentechnik sollen Ansätze zur weiteren substanziellen Durchsatzsteigerung entwickelt werden und die Anlagen und Komponenten an die Anforderungen der neuen Hocheffizienz- Laserprozesse angepasst werden. Am Projektende sollen Durchsätze pro Anlage erreicht werden, die sich zunächst nahe am Stand der Technik orientieren und in der weiteren Entwicklung den künftigen Bedarf der Industrie abbilden. Es sollen Ansätze für präzise lokale Laserdotierung auf Basis von schlanken Anlagenkonzepten entwickelt werden, sowie ein Prozess auf Basis kostengünstiger industrietauglicher Laser. Es soll am Projektende für selektive Emitter eine hinreichende Anlagengenauigkeit zur präzisen Alignierung an die Elektrode erreicht werden.
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