Fortgeschrittene Inline Nassprozessierung von kristallinen Siliziumsolarzellen - InWet
Zeitraum
2005-01-01 – 2008-12-31
Bewilligte Summe
1.326.906,50 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329977
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Projekt der RENA GmbH hatte den Zweck, die Prozesse und Abläufe bei der Produktion von Solarwafern und Solarzellen zu verbessern. Die Technik der Herstellung sollte optimiert und damit auch deren Kosten gesenkt werden. Über die gesamte Prozesskette wurden die Abläufe rationalisiert und automatisiert. Hier ist als wichtiges Beispiel zu nennen, dass die Wafer automatisch aus dem Block herausgetrennt wurden. Zudem unterliefen sie nach dem neuen Konzept eine zuverlässige Reinigung und auch der Transport wurde optimiert, was eine bessere Voraussetzung für weitere Verarbeitungsschritte schafft. Im nächsten Teilschritt wurde die Zellherstellung verbessert. Hier lag das Hauptaugenmerk auf der verbesserung der Schritte beim Dotierstoffauftrag, der Inline Diffusion und der Phosphorglasentfernung. Eine Innovation stellt die neue Auftragtechnik von Phosphorsäure durch Schwammwalzen dar. Die Inline Lösung der Phosphorglasentfernung bietet ein enormes Potenzial zur Kosteneinsparung.
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