2012-10-01  –  2013-09-25

25.162,75 EUR

advanced control products Information Technology AG, Stuttgart, Baden-Württemberg

0325493B

Photovoltaik - andere Strukturen - Verbindungshalbleiter [EB1041]

01121545/1  –  QUASSIM-Plus

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Ziel des Gesamtvorhabens war die Entwicklung eines innovativen Konzeptes der Qualitätssicherung einer Forschungslinie in der Solarzellenfertigung zur Steigerung des Fertigungseffizienz und der Effizienz in der Prozessentwicklung. Das QUASSIM-PLUS-Projekt baut auf den Ergebnissen des QUASSIM-Projektes auf.
Das vorliegende Teilprojekt erweitert die bestehende Software in Bezug auf Produktions- und Prozesskontrolle. Das dem Projekt zugrunde liegende Ziel war die Verbesserung der Produktionseffizienz, wie auch der Analysemöglichkeiten. Dazu waren drei Arbeitsschritte geplant: 1) Materialtracking: Entwicklung eines Verfahrens zud Identifikation von Wafern mittels Markierung oder Kornstrukturerkennung, 2) Produktions- und Prozesskontrolle: Entwicklung einer vereinfachten Experimentplanung und flexibleren Arbeitsplanverfolgung, Entwicklung von Modulen zum Scheduling und zur Prozesskostenkontrolle, die sich für Forschungs- und Entwicklung eignen, Entwicklung eines Konzepts zur Überwachung von Stichprobenmessungen, 3) Messtechnik: Entwicklung eines Inline-Verfahrens zu 2D-/3D-Druckbild-, Kontaktwiderstands- und Stapelschichtanalyse, zur Hot-Spot-Detektion/-Bewertung und zur IV-Messung von rückseitig sammelnden und kontaktierten Solarzellen.
Zunächst wurde die Anbindung des Waferindentifikationssystems an das Produktionskontrollsystem getestet und die gefundene Lösung implementiert. Als Grundlage für das Template für die Experimentplanung wurde ein objektorientiertes Design entwickelt. Das Konzept der Arbeitsplanüberwachung wurde insofern erweitert, dass die Schritte zwar vorgegeben, aber die Reihenfolge flexibel anpassbar sind. Ein selbstlernendes Modell zur Kostenprognose wurde entwickelt. Neben der Darstellung der Prozessdaten aus der Vergangenheit wurden inferenzstatistische Auswertungen programmiert, die Akzeptanzniveaus für Prozesskennwerte berechnen. Ein Logbuch für jede Anlage wurde implementiert. Die entstandene Software war zum Berichtszeitpunkt 'nahezu produktiv einsatzbereit'. Am Ende der Projektlaufzeit wurden die im Projekt verbesserten Systeme als Prototypen umgesetzt.