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Verbundvorhaben: PlasCon - Plasmatechnologie für hocheffiziente Solarzellen mit passivierten Kontakten der nächsten Generation; Teilvorhaben: Plasma-Anlagentechnologie, Plasma-Oxidation und dotierte PECVD-Schichten

Zeitraum
2022-08-01  –  2025-07-31
Bewilligte Summe
840.286,33 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm international AG, Blaubeuren, Baden-Württemberg
Förderkennzeichen
03EE1137B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01247917/1  –  PlasCon - Plasmatechnologie für hocheffiziente Solarzellen mit passivierten Kontakten der nächsten Generation
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
 
Im Projekt PlasCon sollen Plasma-basierte Technologien zur ressourcenschonenden und kostengünstigen Herstellung hocheffizienter Solarzellen der nächsten Generation mit passivierenden Kontakten entwickelt werden. Der Nachweis soll erbracht werden anhand von Tunneloxid­basierten passivierenden Kontakten (Tunnel oxide passivating contact, TOPCon)- und Rückkontakt-Solarzellen (interdigitated back contact, IBC). centrotherm plant zu diesem Zweck eine Weiterentwicklung der PECVD-Anlagentechnologie indem eine neu zu entwickelnde Hochfre-quenz­Plasmaquelle mit bekannter Niederfrequenz-Plasma-Technologie kombiniert wird. Mit dieser neuen Kombination sollen hochqualitative Siliziumoxidschichten (Plasma-Oxide) und dotierte dielektrische Schichten erzeugt werden.