2015-08-01  –  2018-07-31

242.589,52 EUR

centrotherm international AG, Blaubeuren, Baden-Württemberg

0325840B

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

01161005/1  –  Prozesse für ZEBRA

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Die Produktionsanlagen Diffusion, PECVD-Abscheidung (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) und Oxidation von centrotherm sollen für die industrielle Herstellung von hocheffizienten IBC (Interdigitated Back Contact Solar Cells) Solarzellen durch Anlagenweiterentwicklungen und Prozesse gerüstet werden: Das Verbundvorhaben 'Prozesse für Zebra' (PfZ) beschäftigt sich mit der Entwicklung von industrierelevanten Prozessen zur Herstellung einer IBC Solarzelle die auf 6' Czochralski-Silizium Wafern ein Wirkungsgradpotential von mindestens 23% zeigt. Der Arbeitsplan teilt sich in die den ASt betreffenden Unterpakete ein; die AP 4 und 5 werden von Verbundpartnern bearbeitet. AP 2.3 Schichtanpassung im IBC-Prozess AP 3 Diffusion und Passivierung AP 3.1 Bor Diffusion AP 3.2 Phosphor Diffusion AP 3.3 Integration Diffusion AP 3.4 Oberflächenpassivierung und dielektrische multifunktionale Schichten AP 6 Industrielle Anwendung AP 6.1 CoO-Berechnungen AP 6.2 Patentsituation AP 6.3 Prozessintegration in virtueller Pilotlinie In den Arbeitspakten 2 und 3 geht es konkret um die Anlagenweiterentwicklung sowie die spezifische Einzelprozessentwicklung von Diffusion und Abscheidung. Das AP 6 beschäftigt sich mit der Kostenkalkulation sowie dem industriellen Nachweis der entwickelten Anlagentechnologie und Einzelprozesse.