Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Anlagen- und Prozessentwicklung Diffusion
Zeitraum
2016-09-01 – 2020-08-31
Bewilligte Summe
309.588,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324079A
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01171013/1 – Hochdurchsatz für Hocheffiziente Emitter mittels Niederdruck POCI3-Diffusion
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Mit der Niederdruck POCl3 (Phosphoroxidtrichlorid)-Diffusion soll eine Anlage mit zugehörigen Prozessen entwickelt werden, die durch ihren hohen Durchsatz eine kostengünstige Erstellung des Emitters in p-type Solarzellen erlaubt. Die Prozesse sollen so optimiert werden, dass hocheffiziente, homogene oder selektive Emitter für aktuelle PERC (Passivated Emitter and Rear Cell) -Zellkonzepte in einem einzigen Hochtemperaturprozess entstehen. Parallel soll ein Anlagentyp entwickelt werden, der für einen separaten Diffusionsschritt (ohne Aufbringung der Dotierquelle) optimiert ist und dafür einen sehr hohen Durchsatz aufweisen kann (Stapeldiffusion).
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