2022-09-01  –  2025-08-31

248.831,98 EUR

centrotherm international AG, Blaubeuren, Baden-Württemberg

03EE1138C

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

01248558/1  –  SelFi - Selektive Polysilizium Finger

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Im Projekt SelFi soll ein industrieller Herstellungsprozess zur Implementierung von lokalen passivierten Kontakten an der Zellvorderseite von Tunnel Oxide Passivated Contact (TOPCon) Siliziumsolarzellen entwickelt werden. Solch strukturierte passivierte Kontakte sollen anschließend auch für die Entwicklung von poly-Si passivierten Rückkontaktsolarzellen (IBC) nutzbar gemacht werden. Für beide Zellkonzepte sollen die Kontakte mittels Laser-enhanced contact-optimization (LECO) Prozess optimiert werden. Schlüsseltechnologie von Schichten im Sinne des Projekts ist die Abscheidung von Polysilizium-Schichten und dotierten Siliziumoxidschichten (Dotierstoff-Silikatglas) im PECVD-Verfahren. Diese Schichten können voraussichtlich mit einer neuartigen PECVD-Anlage von centrotherm, die sich gerade in der Testphase befindet, besser und effektiver abgeschieden werden als mit bisher bekannter Anlagentechnologie. Die neuartige Anlagentechnologie soll im Rahmen des Projekts dafür qualifiziert werden, die Schichten im Sinne des Projekts großtechnisch und effizient herstellen zu können.