Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Anlagentechnischen Konzepte für die dynamische Abscheidung von TCO bzw. aSi Schichten
Zeitraum
2019-01-01 – 2022-06-30
Bewilligte Summe
874.603,12 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324293A
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01183209/1 – Dynasto - Dynamische Abscheidung von a-Si:H6TCO-Schichten für die Hocheffizienz Silizium-Heterojunction Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Ziel des Teilvorhabens ist die Entwicklung neuer anlagentechnischer Lösungskonzepte für die dynamische Abscheidung von amorphen Silizium (a-Si) für passivierte Kontakte für eine hochproduktive Fertigung von TOPCon-Silizium Solarzellen und die Entwicklung eines kostengünstigen, hochtransparenten, hochleitfähigen und langfristig verfügbaren TCOs mit einem zu Silizium und Metall minimiertem Kontaktwiderstand für eine hochproduktive Fertigung von Si-Heterojunction Solarzellen (SHJ). Der Schwerpunkt wird hier in der signifikanten Verbesserung des Schichtwachstums- und Prozessverständnisses in Produktionsanlagen und des gedruckten und getemperten Metallkontakts liegen. Dazu wird eine in-line Prozesskontrolle für TCO-Sputterprozesse entwickelt und implementiert.
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