Verbundvorhaben: CZ3003 - Entwicklung einer Czochralski-Anlagentechnologie zur Herstellung von Silizium-Einkristallen mit Einwaagen größer 300 kg und Kristalllängen größer 3 m; Teilvorhaben: Anlagenentwicklung, Prozessentwicklung und Komponentenentwicklung
Zeitraum
2019-01-01 – 2024-03-31
Bewilligte Summe
1.314.293,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324357B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
01185148/1 – CZ3003 - Entwicklung einer Czochralski- Anlagentechnologie zur Herstellung von Silizium-Einkristallen mit Einwaagen größer 300 kg und Kristalllängen größer 3 m
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Dieses Vorhaben soll dazu beitragen, einen wesentlichen Schritt zu leisten, um das Czochralski-Verfahren (Cz) zur Herstellung von monokristallinen Silizium-Wafern für die Photovoltaik (PV) unter dem Gesichtspunkt eines immer weiter ansteigenden Kostendrucks weiterzuentwickeln. Neben der drastischen Reduzierung der Prozesskosten müssen gleichzeitig die permanent steigenden Anforderungen an die Materialqualität erfüllt werden. Diese Anforderungen können nur durch eine konsequente Weiterentwicklung der Anlagentechnologie erfüllt werden, die zum einen die Kostenreduzierungspotenziale hardwareseitig und softwareseitig ausschöpft und zum anderen ganz neue Wege im Design der Heizeinrichtung beschreitet, um eine deutliche Verbesserung in der Materialqualität zu erreichen. Zu den Kostenreduzierungspotenzialen gehören z.B. eine leistungsfähige Nachchargiereinrichtung für große Massen und eine aktive Kristallkühlung für maximale Ziehgeschwindigkeiten. Diese Komponenten sollen zusammen mit den Ziehanlagen (Cz-Puller) in Dimensionen entwickelt und hergestellt werden, die einen maximalen Durchsatz von Kristallmaterial ermöglichen.