2019-01-01  –  2022-06-30

801.493,00 EUR

Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg

0324293E

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

01183209/1  –  Dynasto - Dynamische Abscheidung von a-Si:H6TCO-Schichten für die Hocheffizienz Silizium-Heterojunction Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

DYNASTO zielt auf die Entwicklung dynamischer Abscheideverfahren zur Herstellung transparenter Kontaktschichten (transparent conducting oxide, TCO) und amorpher Silizium (a-Si:H) Passivierungs- und Kontakt-Schichten für eine hochproduktive Fertigung von hocheffizienten Solarzellen basierend auf passivierten Kontakten mit erhöhtem Wirkungsgrad. Die Kosten solcher Solarzellen werden neben den Kosten für Wafer wesentlich durch die Kosten für die TCO und die a-Si:H Abscheidung, sowie die Metallisierung bestimmt. Dynamische (in-line) Abscheideprozesse bieten signifikante Produktivitätsvorteile, ohne dass die Anzahl der Produktionsanlagen und damit der Flächenbedarf in gleichem Maße steigen. Roadmaps gehen hier von einer Reduzierung um 50% aus. In DYNASTO werden industriell etablierte, massenfertigungstaugliche Herstellungsverfahren mit neuartigen Materialien und Prozessen kombiniert, z.B. für die a-Si Abscheidung die übliche statische durch eine dynamische Abscheidung ersetzt. Dafür ist es notwendig, das physikalische Verständnis des Schichtwachstums sowie die damit verbundene Kontaktausbildung zu verbessern. Als Zielwert für den Wirkungsgrad von industriellen Zellen basierend auf passivierten Kontakten wird Eta=24 % gesetzt, bei einer Senkung der Herstellkosten im zweistelligen Prozentbereich.