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Silicium-Foliengießen

Zeitraum
1986-08-01  –  1991-03-31
Bewilligte Summe
6.053.349,44 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324506D/0
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
 
Ziel des Projektes war die Entwicklung eines kostengünstigen Verfahrens zur Direktherstellung großflächiger Siliciumscheiben aus der Schmelze. Es sollten die Materialqualität verbessert und abgesichert, das technische Risiko beim späteren Bau einer Massenfertigungsanlage verringert sowie der Nachweis der Wirtschaftlichkeit des Verfahrens erbracht werden. Während der Grundlagenentwicklung des Vorhabens wurden die Verunreinigungs- und Defektsituation verbessert sowie spezielle temporäre Substrate für optimierte Nukleations- und Kristallisationsbedingungen bzw. hohe Wiederholbeschichtungen entwickelt. Im Zuge der Technologieentwicklung und für die Ableitung von Aussagen zur technischen Realisierbarkeit, wurde eine Anlage entwickelt, die aus einem Schmelzenteil und einem Kristallisationsteil bestand. Diese Anlage sollte Daten zur Standzeit und zur Wirtschaftlichkeit liefern. Qualitätsverbesserungen wurden durch die Weiterentwicklung und Optimierung von Anlagenkomponenten und Verfahren erbracht. Die hardwaremäßige Zusammenkopplung der Einzelkomponenten erfolgte nach unabhängiger Testung der einzelnen Teile. Für den Gesamtverfahrensablauf sollten Steuerprogramme erstellt und ebenfalls getestet werden.
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