Beschaffung eines ALCVD Reaktors (Typ F-450) zur Deposition von Dünnschichten
Zeitraum
2000-06-01 – 2000-12-31
Bewilligte Summe
560.938,32 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329887
Leistungsplansystematik
Forschungsinfrastruktur [EB1080]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
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