Verbundprojekt: Entwicklung eines plasmagestützten Chalkogenisierungsverfahrens zur Herstellung von Cu(In, Ga)(Se,S)-Dünnschichtsolarzellen (PLASMA-CIGS), Teilprojekt: Anlagentechnik
Zeitraum
2011-11-01 – 2015-10-31
Bewilligte Summe
543.749,09 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325383B
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Chalkopyrite [EB1022]
Verbundvorhaben
01102365/1 – Plasmagestütztes Chalkogenerierungsverfahren - PLASMA-CIGS
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Projekt befasst sich mit der Entwicklung eines innovativen Herstellungsverfahrens für elektronisch hochwertige Kupfer(Cu)-Indium(I)-Gallium(Ga)-Diselenid(CIGSe)-Filme, die in Dünnschichtsolarzellen eingesetzt werden sollen. Dabei wird ein Cu-In-Ga-Schichtstapel (SEL) unter Zuführung eines plasmaaktivierten Selen-Radikal-/Ionenstroms zum CIGSe-Halbleiter bei geeigneter Substrattemperatur rekristallisiert. Diese Technologie lässt eine gegenüber klassischen Verfahren verbesserte elektronische Qualität der Absorberschicht, einen geringeren Selenverbrauch sowie eine energiesparendere Schichtabscheidung bei reduzierten Substrattemperaturen deutlich unterhalb von 550 Grad Celsius erwarten. Für die Prozessentwicklung wurde eine spezielle Hochtemperaturkammer zur plasmagestützten Aktivierung von thermisch verdampftem Selen entwickelt und in die Technikumsanlage der Universität Oldenburg integriert.
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