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Verbundvorhaben: TuKaN - Tunnelkontakte auf N-Typ: für die Metallisierung mit Siebdruck, Teilvorhaben: Industrielle aSi:H-Abscheidung für passivierte Kontakte auf Basis poly-Si-Tunneloxide

Zeitraum
2017-10-01  –  2021-03-31
Bewilligte Summe
456.623,54 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0324198B

Verbundvorhaben: PATOS - Prozess- und Anlagentechnologie zur kostengünstigen und ressourcenschonenden Herstellung von Silizium-Heterostruktursolarzellen mit hohem Wirkungsgrad; Teilvorhaben: Kostenoptimierte TCO-Prozessierung und anlagentechnische Integration der Hotwire-CVD

Zeitraum
2016-09-01  –  2020-05-31
Bewilligte Summe
387.784,99 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0324074B

Verbundvorhaben: SHAPE - Skalierbare Hochratenprozesse für die Dampfphasenabscheidung von Perowskit-Silizium-Tandemsolarzellen; Teilvorhaben: Entwicklung Innovativer In-Situ-Messtechnik

Zeitraum
2022-05-01  –  2025-04-30
Bewilligte Summe
324.295,09 EUR
Ausführende Stelle
LayTec Aktiengesellschaft, Berlin
Förderkennzeichen
03EE1123D

Verbundvorhaben: PeroQ – Perowskit auf Q.antum- Tandemzellen; Teilvorhaben: Entwicklung und Prozessübertrag von neuen Konzepten für Perowskit/ Silizium- Tandemsolarzellen basierend auf der Bottomzell-Technologie von Q CELLS

Zeitraum
2021-06-01  –  2023-05-31
Bewilligte Summe
298.561,69 EUR
Ausführende Stelle
Hanwha Q CELLS GmbH, Bitterfeld-Wolfen
Förderkennzeichen
03EE1118B

Verbundprojekt: Einsatz von kontinuierlichen VHF-Plasma-CVD (Linienquelle) zur Deposition von a-Si:H/µc-Si:H-Solarzellen. Teilvorhaben 'Technische Anpassung des VHF-Plasma-CVD-Gerätes an Dünnschicht-Si-Solarzellen-Prozesse'

Zeitraum
2008-09-01  –  2011-09-30
Bewilligte Summe
243.930,00 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0325024B

Verbundvorhaben: KOALA-Plus - Demonstration von massenfertigungstauglichen Perowskit/Silizium Tandem-Solarzellen mittels PVD Abscheidung – Erweiterung der KOALA-Anlage; Teilvorhaben: Prozesstechnologie für die Abscheidung von TCO-Fensterschichten für Si-Perowskit-Tandemzellen

Zeitraum
2021-05-01  –  2024-10-31
Bewilligte Summe
235.429,00 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03EE1109B

Verbundvorhaben: CHEPHREN-P2 - Projekt zur CHEmisch-PHysikalischen Reduzierung der ReibungsENergie Phase II; Teilvorhaben: Laser-Arc Technologie auf isolierenden Substraten

Zeitraum
2022-09-01  –  2024-08-31
Bewilligte Summe
230.023,07 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03EN4029L

Verbundprojekt: CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität

Zeitraum
2002-06-01  –  2006-05-31
Bewilligte Summe
228.324,46 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0329843B

Verbundvorhaben: CHEPHREN - Projekt zur CHEmisch-PHysikalischen Reduzierung der ReibungsENergie; Teilvorhaben: Laser-Arc Technologie auf isolierenden Substraten

Zeitraum
2021-09-01  –  2024-08-31
Bewilligte Summe
220.383,61 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03EN4005L

Verbundvorhaben: PeroQ – Perowskit auf Q.antum- Tandemzellen; Teilvorhaben: Entwicklung PVD- Abscheideverfahren

Zeitraum
2021-06-01  –  2023-05-31
Bewilligte Summe
204.225,50 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03EE1118D