Verbundvorhaben: Multikristallines Silizium für kostengünstige bifaziale Solarzellen mittels APCVD und Co-Diffusion (MuSkAD), Teilvorhaben: Auswirkungen der Co-Diffusion aus mittels APCVD abgeschiedener Dotierschichten auf die Materialqualität von multikristallinem Silizium
Zeitraum
2016-05-01 – 2019-10-31
Bewilligte Summe
664.551,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324041B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Im Rahmen des Projekts soll der Einfluss des Co-Diffusionsprozesses auf multikristalline Wafer unterschiedlicher Qualität untersucht werden. Hierbei soll insbesondere die Wirkung des Co-Getterns, bei dem sowohl hoch bor- als auch phosphordotierte Bereiche metallische Verunreinigungen binden, evaluiert werden. Co-Gettern kann bei höheren Temperaturen entscheidend zur Verbesserung der Ladungsträgerlebensdauer im multikristallinen Material beitragen. Ziel ist es, ein besseres Verständnis des Einflusses der Co-Diffusion auf die Materialqualität für die Entwicklung von geeigneten Prozesssequenzen für möglichst viele multikristalline Silizium-Materialien zu entwickeln. Ein weiteres Ziel des Projekts ist es, die für den Diffusionsprozess notwendige thermische Ofentechnik radikal zu vereinfachen. Basierend auf Dotierquellen, die mittels APCVD (Atmosphärendruck-Gasphasenepitaxie) aufgebracht wurden, sollen Wafer für den Diffusionsprozess einfach aufeinander gestapelt werden. Dies macht den Einsatz der gegenwärtig noch verwendeten, vergleichsweise komplexen Öfen und Automationsanlagen überflüssig und trägt zu einer wesentlichen Reduktion der Betriebs- und Investitionskosten bei.
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