Verbundvorhaben: Epi-POESIE - Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitender Charakterisierung an statistisch relevanten Stückzahlen, Teilvorhaben: Referenzprozesse für Porosizierung und Reorganisation
Zeitraum
2018-10-01 – 2020-12-31
Bewilligte Summe
786.472,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324290C
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
01183193/1 – Epi-POESIE - Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitender Charakterisierung an statistisch relevanten Stückzahlen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
In dem Teilvorhaben beschäftigt sich der Antragsteller (ASt), Universität Konstanz im Detail mit der Entwicklung von PorSi-Ätzprozessen in einer Referenzanlage. Diese Entwicklung soll der Optimierung des Prozesses in einer Pilotproduktionsätzanlage dienen, um die Erreichung der übergeordneten Ziele zu ermöglichen. Dafür soll ein detailliertes Verständnis sowohl zur Steuerung des PorSi-Ätzprozesses in der Pilotproduktionsanlage als auch zur Optimierung des Reorganisationsprozesses und der EpiWaferqualität mit Hilfe von Referenzprozessen erlangt werden.
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