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Verbundvorhaben: DYNASTO – Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellungskosten; Teilvorhaben: Dynamische PECVD für Hocheffizienz Si-Solarzellen - Grundlagenuntersuchungen

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
265.693,49 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0324293D

Verbundprojekt: Entwicklung und Untersuchung der Beschichtung von Folienbändern mit Kontakten, Barrieren und Solarzellen (FlexSol); Teilvorhaben: Bandbeschichtung mit amorphen und mikrokristallinen Solarzellen

Zeitraum
2012-10-01  –  2015-09-30
Bewilligte Summe
502.489,00 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0325442A

Verbundvorhaben TIBET: Hochtransparente, leitfähige und passivierende Elektroden für hocheffiziente Solarzellen (TIBET), Titel der Teilvorhabenbeschreibung: Entwicklung amorpher und mikrokristalliner Halbleiter mittels VHF PECVD und Vergleich mit Hot-Wire CVD

Zeitraum
2016-09-01  –  2019-12-31
Bewilligte Summe
824.163,24 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
03SF0538B

Aufskalierung einer VHF-Linienquelle für höhere Frequenzen und größere Bearbeitungsbreiten

Zeitraum
2009-09-01  –  2013-03-31
Bewilligte Summe
966.810,83 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0325156

VHF-Hochrate-Plasma-CVD auf großen Flächen für amorphe und mikrokristalline Siliziumschichten

Zeitraum
1997-05-01  –  2001-05-31
Bewilligte Summe
1.446.897,42 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0329563B/3

Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage

Zeitraum
2006-10-01  –  2010-03-31
Bewilligte Summe
653.687,00 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0329563E

Entwicklung eines kontinuierlichen VHF-Bandschichtungsverfahrens zur Herstellung von 'mikromorphen' Silizium-Tandemsolarzellen

Zeitraum
2004-05-01  –  2006-09-30
Bewilligte Summe
451.617,00 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0329563D

Großflächige Abscheidung von a-Silizium-pin-Solarzellen mit einer VHF-PCVD-Durchlaufanlage

Zeitraum
2001-06-01  –  2004-04-30
Bewilligte Summe
699.346,57 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0329563C