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search_results: 12 Vorhaben gefunden
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Verbundvorhaben: Nasschemische Prozesse in hochfunktionalen Prozessanlagen (CHEOPS); Teilvorhaben: Entwicklung und Evaluierung einer hochfunktionalen Prozessanlage

Zeitraum
2016-08-01  –  2020-07-31
Bewilligte Summe
265.550,33 EUR
Ausführende Stelle
Singulus Technologies Aktiengesellschaft, Kahl a. Main
Förderkennzeichen
0324056A

Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-12-31
Bewilligte Summe
146.089,85 EUR
Ausführende Stelle
Singulus Technologies Aktiengesellschaft - Niederlassung Fürstenfeldbruck, Fürstenfeldbruck
Förderkennzeichen
0324135C