2022-01-01  –  2024-12-31

955.611,41 EUR

Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg

03EE1103B

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

01231603/1  –  CHEPHREN - Weiterentwicklung smarter Nasschemie Anlagen- und Prozesstechnologie für die Herstellung von Hocheffizienzsolarzellen

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Im Rahmen des Projekts Chephren wird ein Gesamtpaket für die nasschemische Prozessierung von Siliziumwafern im Rahmen der Herstellung von hocheffizienten Solarzellen entwickelt. Dieses Paket umfasst vier Bausteine, die Anlagenkomponenten, die Software, die Sensorik sowie die eingesetzten Prozesschemikalien. Im Rahmen des vorliegenden Teilprojekts werden Anlagenkomponenten wie Spüler und Prozessbäder mit Hilfe von FEM-Simulationen optimiert und getestet. Basierend auf Strömungssimulationen werden die Prozess- und Spülbecken einem kompletten Neu-Design unterworfen. Mit der Weiterentwicklung soll der Durchsatz der Anlagen gesteigert und gleichzeitig bei verringertem Ressourceneinsatz die Prozessqualität verbessert werden. Durch die Integration von verbesserter Sensorik in die Anlage wird eine verbesserte Datengrundlage aus dem laufenden Anlagenbetrieb geschaffen. Mit Hilfe von Methoden der künstlichen Intelligenz werden Modelle erstellt, welche aus diesen Daten wertvolle Informationen über den Zustand sowohl der Anlage als auch der verwendeten Prozessbäder liefern. Die Integration neuer, verbesserter Additive für die Texturierung und Reinigung von Wafern soll eine weitere Kostenreduktion sowie Qualitätssteigerung demonstrieren.