2023-02-01  –  2026-01-31

118.413,26 EUR

ROBUST AO GmbH, Jena, Thüringen

03EE1148D

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

01251590/1  –  MIRACLE - Hochdurchsatz Mikroablation zur Electroplating der Solarzellen der nächsten Generation

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Der wachsende Markt für geplatete Solarzellen benötigt innovative Technologie im Bereich der Laserstrukturierung – höhere Auflösung für kleinere Leiterbahnen, großes Bearbeitungsfeld für wachsende Waferformate und schnellere Strahlablenkung für kürzere Prozesszeiten. In diesem Vorhaben werden Laseranlagenkonzepte entwickelt, die die oben genannten Herausforderungen erfüllen. In diesem Teilprojekt wird ein besonders schneller z-Steller zur Fokussierung von Ultraviolettstrahlung (UV)- Laserlicht erforscht, um Laserlicht zur Strukturierung von Laserzellen mit hoher Dynamik und Präzision zu fokussieren. Dadurch wird ein wesentlicher Beitrag zur Erreichung der Gesamtziele des Projektes, hoher Durchsatz, kleine Strukturgrößen <10µm sowie große Formate 210x210 mm² bei der Prozessierung von Wafern geleistet. Um dieses Teilprojekt erfolgreich auszuführen, müssen die folgenden Teilziele erreicht werden: • Beforschung eines Zwobbel®-Systems mit angepasster optischer Qualität für UV-Laser • Entwicklung eines schnelleren Zwobbel®-Systems, vor allem durch eine leistungsfähigere Informationselektronik • Beforschung, Implementierung und Validierung auf die Applikation zugeschnittener Signalverarbeitungs- und Regelalgorithmen zur Erzielung der geforderten dynamischen Anforderungen/ der geforderten Präzision Als Ergebnis der Förderung soll ein Zwobbel®-System mit einem signifikant reduzierten Geschwindigkeits- und Beschleunigungsfehler von ±100µm (Optimum ±30µm) für die Experimente mit UV-Wellenlänge zur Verfügung stehen.