Verbundvorhaben: TuKaN - Tunnelkontakte auf N-Typ: für die Metallisierung mit Siebdruck, Teilvorhaben: Industrielle aSi:H-Abscheidung für passivierte Kontakte auf Basis poly-Si-Tunneloxide
Zeitraum
2017-10-01 – 2021-03-31
Bewilligte Summe
456.623,54 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324198B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01178738/1 – Tunnelkontakte auf N-Typ: für die Metallisierung mit Siebdruck
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
In dem Teilvorhaben soll eine industrienahe Beschichtungsanlage für die Herstellung der zu untersuchenden Schichten sowie Solarzellen aufgebaut und in Betrieb genommen werden. Eine Hochtemperatur Quelle soll konzipiert und in die PECVD-Anlage integriert werden. Ein Konzept soll für eine Cat-CVD Quelle erstellt werden. Die Eignung der katalytischen (Cat-) und plasmaunterstützten (PE-) chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) für die Herstellung ladungsträgerselektiver Kontaktsysteme soll untersucht werden. Die Skalierfähigkeit der Komponenten und Anlagentechnik ist ebenfalls Gegenstand der Forschung. Überdies werden Mehrfach-Wafer-Carrierlösungen für die Hochtemperatur-CVD-Abscheidung untersucht.
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