Verbundvorhaben: APOLON - Investoren-orientierte Ausentwicklung der POLO-Technologie für eine hiesige PV Produktion; Teilvorhaben: Weiterentwicklung einer Phosphordotierten Polysiliziumabscheidung mit LPCVD Prozessen
Zeitraum
2023-02-01 – 2026-01-31
Bewilligte Summe
221.712,94 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1150D
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01251748/1 – APOLON - Investoren-orientierte Ausentwicklung der POLOTechnologie für eine hiesige PV Produktion
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Im Vorhaben APOLON wird die im NanoPERC-Vorhaben (FKZ 03EE1012A) erfolgreich und weltweit erstmals demonstrierte POLO Back Junction (POLO BJ) Zelle für zukünftige Investoren ausentwickelt und deren Potenzial zur Weiterentwicklung über die angestrebte Basis-Technologie hinaus nachgewiesen. Die POLO BJ Zelle verwendet p-Typ-Siliziummaterial. Die texturierte und nicht-diffundierte Vorderseite der POLO BJ-Zelle verwendet die bekannte Aluminiumoxid/Siliziumnitrit (AIOx/SiNy)-Passivierung, welche für siebgedruckte Aluminium-Finger mit dem Laser lokal geöffnet wird. Die Zellrückseite besitzt einen ganzflächigen n+-Typ passivierenden POLO Kontakt, welcher mit siebgedruckten Silber-Fingern kontaktiert wird. Als Ziel soll eine Prozesssequenz für eine Zell-Basis-Technologie entwickelt und demonstriert werden, die mit 24% höhere Wirkungsgrade als die aktuelle Mainstream-PERC+-Solarzelle ermöglicht, aber genauso einfach ist. Bisher wurde eine intrinsische Poly-Silizium Schicht abgeschieden und anschließend über einen Diffusionsprozess (POCl3) dotiert. Diese Prozessfolge soll durch einen in-situ dotierten Poly-Silizium Schritt ersetzt werden. Um den notwendigen Durchsatz zu erhalten, soll a) die Abscheiderate um den Faktor 2 erhöht werden und b) die Wafer Back-to-Back prozessiert werden. Dieser Ansatz war bisher nicht möglich, da auf den gegenseitig berührenden Kontaktflächen eine parasitäre Abscheidung stattfindet.