Verbundvorhaben Oxycontrol: Energieeffiziente Beschichtungsprozesse zur Herstellung spektral selektiver Schichten auf Bauteiloberflächen; Teilvorhaben: Implementierung der O2-Regelung für Rollenbeschichtung
Zeitraum
2017-11-01 – 2021-02-28
Bewilligte Summe
101.194,04 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03ET1519E
Leistungsplansystematik
Energiesparende Industrieverfahren - Fertigungstechnik [EA3251]
Verbundvorhaben
01180655/1 – Oxycontrol: Energieeffiziente Beschichtungsprozesse zur Herstellung spektral selektiver Schichten auf Bauteiloberflächen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESN2)
Förderprogramm
Energie
Im Rahmen des Projektvorhabens Oxycontrol soll der Herstellungsprozess spektral selektiver Schichten auf Bauteiloberflächen auf Energieeffizienz hin optimiert werden. Es werden ein schneller und hochempfindlicher Sauerstoffsensor sowie eine Echtzeit-Prozessregelung entwickelt. Dies ermöglicht die Herstellung kritischer Metalloxidschichten mit hohem Durchsatz und niedrigem Energieaufwand. Schließlich werden industrie-relevante prozesskritische oxidische Schichten sowie Low-E- und Solar Control-Schichten mit der neuen Prozesssteuerung eingefahren, um die Eigenschaften der Schichten sowie die Prozessstabilität zu demonstrieren. Weiterhin ist das Ziel, den Energieaufwand bei der Herstellung oxidischer Schichten um einen Faktor 2 zu reduzieren.
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