Verbundvorhaben: PhocoHila - Photonische Prozesse zum schnellen präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauelementen; Teilvorhaben: Prozesskammer für laserbasierte Hochtemperaturprozessierung
Zeitraum
2022-06-01 – 2024-12-31
Bewilligte Summe
359.709,03 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1125C
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01239237/1 – PhocoHila - Photonische Prozesse zum schnellen, präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauelementen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Die Ziel des Projektes ist das breite Spektrum der thermischen Prozesse (Annealing) in der Solarzellenproduktion mit 'Laser' als Wärmequelle abzudecken und die Limitierungen der Ofentechnologie zu überwinden Die Materialien in Solarzellen sind vielseitig, ebenso wie die Laser. Im Vorhaben 'PhocoHila' soll zum ersten Mal ein Gesamtbild erzeugt werden, das die Anforderungen der Materialien mit den verfügbaren Strahlquellen verknüpft. Daraus kann für die verschiedenen Anwendungen im Kontext der jeweils geltenden Randbedingungen die optimale thermische Behandlung ermöglicht werden. Des Weiteren soll in PhocoHila die Laser-Materie Interaktion in unterschiedlichen Szenarien mit dediziertem Messequipment detailliert untersucht werden. Auch Anlagenentwicklung wird in diesem Projekt adressiert. Es soll eine Prototyp Laseranlage mit integrierter Vakuum-Prozesskammer gebaut werden, die Annealing bei hohen Temperaturen über dem Schmelzpunkt ermöglicht.