2015-12-01  –  2019-02-28

1.487.380,00 EUR

Freiberger Compound Materials Gesellschaft mit beschränkter Haftung, Freiberg, Sachsen

03ET1331A

Energiesparende Industrieverfahren - Industrieöfen [EA3204]

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESN2)

Energie

Erstmalig soll die Gesamtprozesskette der GaAs-Herstellung bezüglich des Energieeinsparpotentials unter Berücksichtigung der technologisch einzuhaltenden Randbedingungen untersucht werden. Da Energieeinsparungen grundsätzlich einzelne Technologie- aber auch nachgelagerte Prozessschritte beeinflussen können, sind diese zu untersuchen und die gegenseitigen Einflussgrößen zu ermitteln, um die Produktqualität zu erhalten. Die dazu erforderlichen Entwicklungen bestimmen das Energieeinsparpotential. Die Analyse des Energieverbrauches zeigt, dass bei Vollauslastung 9 GWh pro Jahr variabel sind, d.h. für die einzelnen Technologieschritte benötigt werden. Die prognostizierte Gesamtenergieeinsparung und damit Ziel des Vorhabens beträgt 1,93 GWh pro Jahr, was eine Einsparung von 21,5% bedeutet. Diese Ergebnisse lassen sich mittelfristig auch auf ähnliche Prozessketten in der Halbleiterindustrie übertragen. Aufgaben: • Vergrößerung der Einsatzmassen, Prozesszeitverkürzung bzw. Minimierung der Kühlwasserenergie/Einsatzmasse bei der Synthese von GaAs durch Optimierung und Neuentwicklung einer Maschinengeneration zur massiven Durchsatzerhöhung • Entwicklung energiesparender Methoden der Tiegelpräparation • Weiterentwicklung interner GaAs-Recyclingkreisläufe • Durchsatzerhöhung bei der VGF-Kristallzüchtung durch Steigerung von Ausbeute, Einsatzmassen und Wachstumsgeschwindigkeit • Verringerung des Energiebedarfes in der VGF-Kristallzüchtung durch Einsatz eines energetisch effizienteren Inertgases • Energetische Optimierung bzw. Ersatz des Temperns von VGF-Kristallen • Entwicklung einer Material-/Energie-sparenden Kristalltestung • Senkung des Materialverlustes beim Drahttrennläppen durch Drahtstärkereduzierung und Profilierung der Vorschubgeschwindigkeit • Energetische Optimierung von Polierprozessen durch Erhöhung der Abtragrate und Minimierung des Abtrages • Neuentwicklung von energiesparenden Endreinigungstechnologien und energetische Optimierung der Verpackungsreinigung