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Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung - Teilvorhaben: 'Entwurf, Konstruktion und Erstellung eines Demonstrators'

Zeitraum
2001-04-01  –  2003-12-31
Bewilligte Summe
586.955,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329879H

Verbundvorhaben: PLATON - Plasma-texturierte Oberflächen für die kristalline Solarzellentechnologie

Zeitraum
2003-11-01  –  2007-03-31
Bewilligte Summe
152.737,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329933D

Verbundprojekt PRISMA - Teilprojekt HERKULES Herstellverfahren für kristalline Silicum-Dünnschicht-Solarzellen auf hochtemperaturstabilen Substraten; HERKULES D: Plasma-SiC-Schichten für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen

Zeitraum
2003-11-01  –  2007-05-31
Bewilligte Summe
262.566,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329850H

Erweiterte zukunftsweisende Produktion von Halbleitersolarzellen (ASCM)

Zeitraum
2003-12-01  –  2007-11-30
Bewilligte Summe
1.045.873,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329930B

Verbundprojekt: SiC-PASS - Siliciumkarbid als Passivierungsschicht auf der Rückseite von Solarzellen

Zeitraum
2006-09-01  –  2008-12-31
Bewilligte Summe
189.019,95 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0327610B

Verbundprojekt: SLIM - Entwicklung eines Solarzellenkonzeptes, das die Verarbeitung ultra-dünner Wafer ohne signifikante Verbiegung und mit hoher Effizienz ermöglicht Teilprojekt - Plasmaätz- und PE CVD Prozesse für Solarzellenkonzepte mit hoher Effizienz.

Zeitraum
2007-05-01  –  2009-10-31
Bewilligte Summe
152.630,15 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0327658B

Verbundprojekt: EpiTest B: Plasmaprozesse für Epitaktische Waferäquivalente

Zeitraum
2007-06-01  –  2009-11-30
Bewilligte Summe
163.748,55 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0327672B

Verbundvorhaben: Spitzencluster Solarvalley, Startprojekt xµ-Zellen , Teilprojekt: 'Waferhandling, -prozessierung und -charakterisierung' Akronym: 'Wahaprocha'

Zeitraum
2009-01-01  –  2011-03-31
Bewilligte Summe
205.579,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
03SF0335G

Spitzencluster Solarvalley: Verbundvorhaben PV-Laser - Anwendung TLS-Technologie für neue Laserprozesse für die Wafer- und Zellbearbeitung - Teilvorhaben: 'Entwicklung und Optimierung von Passivierungsschichten für Laserabtrag basierende Zellkonzepte'

Zeitraum
2010-01-01  –  2012-12-31
Bewilligte Summe
40.309,53 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
03SF0386E

Verbundvorhaben Spitzencluster Solarvalley: Verbund xµ Module+: Innovative Aufbau-und Verbindungstechnik für Hocheffizienzzellen; Teilprojekt: Heterojunction-Zelltechnologie

Zeitraum
2011-05-01  –  2013-12-31
Bewilligte Summe
285.702,16 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
03SF0411A