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Verbundvorhaben: Entwicklung einer hocheffizienten beidseitig kontaktierten Siliciumsolarzelle mittels plasmabasierter Herstellungsverfahren (PlasmaMax), TP: Entwicklung Anlagentechnologie mit Transfer in die Produktion

Zeitraum
2013-08-01  –  2016-12-31
Bewilligte Summe
432.293,94 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0325624B

Verbundvorhaben: AdmMo (Advanced mc Module) - Ertragsstarkes multikristallines Qualitätssolarmodul für niedrigste Stromgestehungskosten; Teilvorhaben: Erforschung einer kostenoptimierten AlOx Abscheidung

Zeitraum
2014-12-01  –  2018-02-28
Bewilligte Summe
987.843,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0325775B

Verbundprojekt: SiC-PASS - Siliciumkarbid als Passivierungsschicht auf der Rückseite von Solarzellen

Zeitraum
2006-09-01  –  2008-12-31
Bewilligte Summe
189.019,95 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0327610B

Verbundprojekt: SLIM - Entwicklung eines Solarzellenkonzeptes, das die Verarbeitung ultra-dünner Wafer ohne signifikante Verbiegung und mit hoher Effizienz ermöglicht Teilprojekt - Plasmaätz- und PE CVD Prozesse für Solarzellenkonzepte mit hoher Effizienz.

Zeitraum
2007-05-01  –  2009-10-31
Bewilligte Summe
152.630,15 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0327658B

Verbundprojekt: EpiTest B: Plasmaprozesse für Epitaktische Waferäquivalente

Zeitraum
2007-06-01  –  2009-11-30
Bewilligte Summe
163.748,55 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0327672B

Verbundprojekt PRISMA - Teilprojekt HERKULES Herstellverfahren für kristalline Silicum-Dünnschicht-Solarzellen auf hochtemperaturstabilen Substraten; HERKULES D: Plasma-SiC-Schichten für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen

Zeitraum
2003-11-01  –  2007-05-31
Bewilligte Summe
262.566,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329850H

Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung - Teilvorhaben: 'Entwurf, Konstruktion und Erstellung eines Demonstrators'

Zeitraum
2001-04-01  –  2003-12-31
Bewilligte Summe
586.955,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329879H

Erweiterte zukunftsweisende Produktion von Halbleitersolarzellen (ASCM)

Zeitraum
2003-12-01  –  2007-11-30
Bewilligte Summe
1.045.873,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329930B

Verbundvorhaben: PLATON - Plasma-texturierte Oberflächen für die kristalline Solarzellentechnologie

Zeitraum
2003-11-01  –  2007-03-31
Bewilligte Summe
152.737,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329933D

Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen

Zeitraum
2019-12-01  –  2021-11-30
Bewilligte Summe
319.120,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
03EE1043B