Verbundvorhaben: G12 - Silizium Mono-Wafer Entwicklung von M2 auf G12: Zellgeometrien der Zukunft; Teilvorhaben: Messtechnik und Automatisierung
Zeitraum
2022-04-01 – 2025-03-31
Bewilligte Summe
552.764,87 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1126D
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
01239236/1 – G12 - Monokristall-Ziehen bis 300 mm Durchmesser
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Ziel von Meyer Burger (Germany) (MBG) in diesem Teilvorhaben ist es, die firmeneigene Handling- und Messtechnik für Wafer in den großen Formaten verwendbar zu machen. Als Ergebnis dieses Projektes wird ein Messanlagendemonstrator für G12 Wafer entstehen, an dem alle Aspekte der Technik evaluiert werden können. Dieser Demonstrator ist die Basis für die Entwicklung einer marktreifen Messanlage und wird am MBG-Standort Hohenstein-Ernstthal eingesetzt. Außerdem soll eine Messanlage für das Fraunhofer ISE entstehen, um dem Institut die Möglichkeit zu geben, mit den G12 Waferformaten zu arbeiten.