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Verbundvorhaben: POLO - Elegante Kombinationen von lokalen Dotiertechniken und Si-Abscheidemethoden zur kostengünstigen Herstellung von poly-/monokristallinen Si-Übergängen; Teilvorhaben: Evaluation von Prozessen zur Herstellung von poly-/monokristallinen Si-Übergängen mit lokalen Dotiertechniken

Zeitraum
2014-08-01  –  2017-07-31
Bewilligte Summe
234.741,61 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325702B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01153314/1  –  POLO
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
 
Die weitere Wirkungsgradsteigerung von industrietypischen Solarzellen wird wesentlich durch die Rekombination an den Metallkontakten limitiert. Ein vielversprechender, in der Mikroelektronik bereits etablierter Ansatz zur Minimierung der Kontaktrekombination ist die Nutzung von poly-Si/c-Si-Übergangen. Diese haben gleichzeitig sehr niedrige spezifische Kontaktwiderstände, so dass auch Widerstandsverluste minimiert werden. Die Herausforderung bei der Übertragung der poly-Si/c-Si-Technologie auf die PV ist die Integration in einen schlanken Prozessfluss. Da das poly-Si auf Zellvorder- und Rückseite unterschiedlich (p und n) dotiert werden muss, ist eine Methode zur einseitigen Abscheidung von in-situ dotierten poly-Si bzw. zur einseitigen Dotierung von intrinsisch abgeschiedenem poly-Si notwendig. Die Evaluation von drei vielversprechenden Ansätzen hierfür ist Kern des POLO-Projektes. Dabei sollen Wirkungsgrade >23% auf industrietypischen Solarzellen erreicht werden. Der Schwerpunkt des ISFH liegt auf der gezielten Herstellung des Grenzflächenoxides, der Evaluation der poly-Si-Herstellungsmethode, der Charakterisierung von Lebensdauer-Testwafern, der Abscheidung und Charakterisierung und Optimierung von transparenten, leitfähigen Oxiden sowie auf Zellprozessierung, -charakterisierung und -optimierung. Der Schwerpunkt des Instituts für Materialien und Bauelemente (MBE) der Leibniz Universität Hannover liegt auf der strukturellen Charakterisierung der poly-Si-Sichten und des Grenzflächenoxides, der Untersuchung der Kristallisation von a-Si zu poly-Si sowie auf der Durchführung der Ionenimplantation im Rahmen der Zellprozessierung. Der Schwerpunkt von Centrotherm liegt auf der Durchführung und Weiterentwicklung der LP-CVD-Abscheidung von intrinsischem und in-situ dotiertem poly-Si. Des Weiteren wird Centrotherm Wirtschaftlichkeitsbetrachtungen zu den entwickelten Prozessen durchführen. Roth&Rau beteiligt sich als 'assoziierter Partner' mit Kreuzprozessierungen.
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