Verbundvorhaben: 'Entwicklung hoch- und kosteneffizienter PV-Si Wafer (ENOWA_II); Teilvorhaben: Entwicklung von speziellen Kühlschmierstoffen und Reinigungschemikalien für den Herstellungsprozess von PV-Si-Wafern'
Zeitraum
2015-01-01 – 2016-09-30
Bewilligte Summe
166.314,53 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325805G
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
01158902/1 – Entwicklung hocheffizienter und kosteneffizienter PV-Si-Wafer
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Ziel des Projektes ist die Weiterentwicklung des Drahttrennsägeprozesses mit gebundenem Korn. Dies geschieht im Hinblick auf die resultierende Waferqualität, die erreichbare Waferausbeute, die Fertigungskosten, die Prozessstabilität und umweltschonende Prozessbedingungen. Dabei haben die Prozesshilfsstoffe, wie die Kühlschmierstoffe und die Reiniger einen wichtigen Einfluss auf die Qualität und die Ausbeute an Wafern. Ein Kühlschmierstoff mit guter Netz- und Spülwirkung kann dazu beitragen, die Oberflächengüte der Wafer zu steigen. Durch eine besondere Sauberkeit im Schneidspalt kann die Bruchrate signifikant reduziert und nachgelagerte Prozessschritte deutlich vereinfacht werden. Da die Tensid- und Builderauswahl sowohl beim Kühlschmierstoff als auch beim Reiniger eine wesentliche Rolle spielen, sollen die physikalisch-chemischen Eigenschaften unterschiedlicher Tenside und Builder genauer untersucht werden. Die Stabilität der jeweiligen Tenside während des Sägeprozesses spielt dabei eine wesentliche Rolle. Des Weiteren soll einen Reiniger für die nachgelagerten Reinigungsschritte entwickelt werden. Dabei spielt nicht nur die Entfernung des Restkerfs eine Rolle, sondern auch die Beseitigung von metallischen und organischen Verunreinigungen. Ebenso stellen organische Verunreinigungen an der Waferoberfläche Probleme bei der Weiterverarbeitung dar. Hierzu soll ein Kühlschmierstoff mit hoher Netz- und Spülleistung entwickelt werden. Um dies zu realisieren, müssen folgende Punkte genauer untersucht werden: • Stabilität der Tenside • Einstellung des Agglomerationsverhalten • Inhibierung von Mikroorganismen Für die Entwicklung des Reinigers müssen die folgenden Fragestellungen näher betrachtet werden: • Leistung der Restschmutzentfernung • Entfernung von metallischen und organischen Verunreinigungen • Verwendung als Konditionierungsmedium
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