Verbundvorhaben: DYNASTO- Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben:Echtzeit-Plasmaprozesskontrolle u. Kammerzustandsüberwachung dur ch spektroskopischem Plasmamonitoring und In-situ Reflektometrie
Zeitraum
2019-01-01 – 2022-06-30
Bewilligte Summe
107.561,85 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324293G
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01183209/1 – Dynasto - Dynamische Abscheidung von a-Si:H6TCO-Schichten für die Hocheffizienz Silizium-Heterojunction Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Die Herstellung hocheffizienter und kostengünstiger Silizium-Solarzellen erfordert optimierte Prozessschritte. In diesem Vorhaben soll die dynamische Abscheidung von a-Si:H Schichten an einem Inline-PECVD-Teststand untersucht werden. Dieses Teilvorhaben befasst sich eingehend mit der Echtzeitcharakterisierung des Prozessplasmas in der neuartigen PECVD-Quelle, um zum einen den Abscheidungsprozess zu optimieren und zum anderen um eine In-situ-Prozesskontrolle zur Effizienzsteigerung und Qualitätssicherung dieses Produktionsschrittes für Produktionsanlagen zu realisieren.
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