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Batman - Neue nasschemische Batch-Prozesse für zukünftige industrielle Silizium-Solarzellen

Zeitraum
2024-05-01  –  2026-10-31
Bewilligte Summe
1.701.942,87 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1207
Leistungsplansystematik
Forschungsinfrastruktur [EB1080]
Verbundvorhaben
01264339/1  –  Batman - Neue nasschemische Batch-Prozesse für zukünftige industrielle Silizium Solarzellen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
 
In dem Projekt Batman strebt das ISFH an, eine neue nasschemische Batchanlage im ISFH SolarTeC aufzubauen. Die neue Batchanlage soll alle industriell etablierten nasschemischen Prozesse durchführen können, insbesondere die alkalische Textur und sowie die vorentwickelte HCl/O3-Reinigung. Zudem soll die Anlage eine neuartige alkalische Politur durchführen können, die noch glattere Oberflächen erreichen kann und sehr selektiv gegenüber dünnen dielektrischen Schichten ist. Im Batman-Projekt soll die HCl/O3-Reinigung glatter und texturierter Oberflächen optimiert werden und in den Herstellungsprozess großflächiger POLO Back Junction (BJ) und POLO Interdigitated Back Contact (IBC) Solarzellen integriert werden (POLO - polycrystalline silicon on oxide). Damit leistet die neue Batch-Anlage einen wichtigen Beitrag zur Umstellung des ISFH SolarTeC von den heute veralteten M2 -Wafern (156,75 mm Kantenlänge) auf M12-Wafer (210 mm Kantenlänge), welche dabei sind, Industriestandard zu werden. Die neue Batch Anlage ermöglicht es dem ISFH, die industriell attraktiven Zellkonzepte POLO BJ und POLO IBC mit neuesten nasschemischen Prozessen auf M12-Wafern zu prozessieren. Auf M12-Format lassen sich die POLO BJ und POLO IBC-Prozesse des ISFH technisch leichter und daher mit geringerem ökonomischem Risiko in eine Pilotproduktion übertragen. Das ISFH strebt an, innerhalb des Interessenbekundunsgverfahrens der Bundesregierung eine POLO Solarzelle mit einem Investorenkonsortium in die Produktion in Deutschland zu überführen. Hierzu leisten die neue Batchanlage und die weiterentwickelten Nasschemieprozesse einen zentralen Beitrag.