2008-05-01  –  2013-01-31

1.983.894,00 EUR

Institut für Solarenergieforschung GmbH, Emmerthal, Niedersachsen

0325050

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Ziel dieses Vorhabens ist es, das Potenzial von Aluminiumoxid-Schichten, die mit dem Atomic- Layer-Deposition(ALD)-Verfahren abgeschieden werden, für die Oberflächenpassivierung von hocheffizienten kristallinen Siliciumsolarzellen zu evaluieren. Es soll eine ALD-Laboranlage aufgebaut werden, die sowohl Abscheidungen mittels thermischer als auch plasmaunterstützter ALD erlaubt. Darüber hinaus wird ein industrienahes Inline-Tool aufgebaut und evaluiert, das rasche Abscheidungen mit Hilfe der Spatial-ALD-Technik ermöglicht. Die abgeschiedenen Schichten sollen bezüglich ihrer Passivierwirkung optimiert und im Anschluss auf ihre elektrischen, optischen und strukturellen Eigenschaften hin detailliert untersucht und in Solarzellen implementiert werden.