Hochenergieimplantation in Halbleitern im Mev-Bereich
Zeitraum
1991-07-01 – 1995-06-30
Bewilligte Summe
410.415,33 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03SK3ROS/5
Leistungsplansystematik
Erforschung kondensierter Materie - Teilchenstrahlen [U03053]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF.711)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.EGF1)
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