Theoretische Beschreibung und Computersimulation der Ionenstrahl-Festkörper-Wechselwirkung bei der Ionenimplantation und nachfolgender Umordnungsprozesse
Zeitraum
1991-07-01 – 1995-04-30
Bewilligte Summe
105.198,30 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03HE3ROS/4
Leistungsplansystematik
Erforschung kondensierter Materie - Teilchenstrahlen [U03053]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF.711)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.EGF1)
Weitere Informationen