2017-11-01  –  2021-04-30

520.382,50 EUR

RENA Technologies GmbH - Solar Technologie Center Freiburg, Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg

0324172D

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

01178832/1  –  Nächste Generation Fertigungs- und Prozesstechnologien für Heterojunktion-Solarzellen und Module für Industrie 4.0

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Im Rahmen des Verbundvorhabens HJT4.0 verfolgt die RENA Technologies das Ziel, die Heterojunction-Technologie (HJT) im Bereich der nasschemischen Verfahren, insbesondere der alkalischen Textursequenz, konkurrenzfähig gegenüber den industriell viel weiter ausgereiften Standard- und PERC-Zellfertigungstechnologien zu halten. Unter Einbeziehung der Konzepte für die Industrie 4.0 wird die Entwicklung, Einbindung und Anpassung der nasschemischen Prozesse in geeignete Maschinenkonzepte neuartige, effiziente HJT-Produktionslinien ermöglichen. Hierfür wird der Durchsatz eines RENA Batchsystems für den industriellen Einsatz mit Eignung für HJT auf über 4000 Wafer/h erhöht, ohne die Zelleffizienz auf einen Wirkungsgrad unter 23% zu limitieren. Dies erfordert eine Optimierung der gesamten nasschemischen, für die RENA Technologie monoTEX® basierten Prozesssequenz über die Prozessfenster und die Berücksichtigung neuartiger Prozesse. Die Einbindung eines Manufacturing Execution System (MES) auf Basis der Einzelwaferverfolgung ermöglicht die ganzheitliche Optimierung entlang der Produktionskette und weitere Innovationen in der Produktentwicklung über die Erweiterung effizienzsteigender Funktionen an der Maschine selber. Zusätzlich werden neuartige Schichtsysteme zur Bildung des selektiven Kontakts durch die Einführung nasschemischer und trockener, dünner SiOx-Schichten vorzugsweise in die Produktionssequenz der Batchsysteme evaluiert. Die Abstimmung zwischen der Hardwareoptimierung und Teilen der Prozessoptimierung erfolgt über geeignete Simulationen.