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Verbundprojekt: EpiTest A: Herstellung und Test von Epitaktischen Waferäquivalenten im Technikumsmaßstab

Zeitraum
2007-06-01  –  2010-06-30
Bewilligte Summe
1.003.100,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg
Förderkennzeichen
0327672A
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Verbundvorhaben
01056715/1  –  EPITEST
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
 
Ziel des Verbundprojekts EpiTest ist, in einer Technikumsphase zur Herstellung epitaktischer Waferäquivalent-Solarzellen vorhandene Qualitäts- und Durchsatzprobleme zu erkennen und zu bereinigen.\nIm Ergebnis sollen Module mit Flächen um 1 m2 mit Wirkungsgraden um 13,5% stabil und reproduzierbar hergestellt werden können. Ein Schwerpunkt des Projekts ist die Silizium-Epitaxie, die mit Betriebsdauern über mehrere Stunden getestet werden soll. Weitere Schwerpunkte bei der Solarzellentechnologie sind auch Plasmaverfahren, um an das Waferäquivalent angepasste Prozessschritte zu entwickeln. \nDie epitaktischen Waferäquivalente können mit geringen Modifikationen in die bestehenden Prozesslinien eingespeist werden und somit die Fortschritte und Investitionen der Silizium-Wafertechnologie verwenden.
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