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Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Optimierung der PECVD Linearquellentechnologie zur dynamischen Abscheidung von a-Si-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
168.991,93 EUR
Ausführende Stelle
FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden, Dresden
Förderkennzeichen
0324293C

Verbundvorhaben TIBET: Hochtransparente, leitfähige und passivierende Elektroden für hocheffiziente Solarzellen (TIBET), Teilvorhaben FAP GmbH: Entwicklung einer Hot-Wire Linienquelle und einer PECVD Abscheidung mit Plasmafrequenzen bis 200 MHz

Zeitraum
2016-09-01  –  2019-12-31
Bewilligte Summe
108.621,82 EUR
Ausführende Stelle
FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden, Dresden
Förderkennzeichen
03SF0538C

Verbundprojekt: Entwicklung und Untersuchung der Beschichtung von Folienbändern mit Kontakten, Barrieren und Solarzellen (FlexSol); Teilvorhaben: Anpassung eines VHF- Linearquellen Reaktorraumes für Folienbeschichtung im Durchlaufverfahren

Zeitraum
2012-10-01  –  2015-09-30
Bewilligte Summe
182.886,79 EUR
Ausführende Stelle
FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden, Dresden
Förderkennzeichen
0325442B

Verbundvorhaben: TuKaN - Tunnelkontakte auf N-Typ: für die Metallisierung mit Siebdruck, Teilvorhaben: Entwicklung einer industrietauglichen CVD-Quelle für hochdotierte wasserstoffarme Silizium-Schichten

Zeitraum
2017-10-01  –  2021-03-31
Bewilligte Summe
148.414,29 EUR
Ausführende Stelle
FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden, Dresden
Förderkennzeichen
0324198C