2016-09-01  –  2020-05-31

192.896,00 EUR

RENA Technologies GmbH, Berg b.Neumarkt i.d.OPf., Bayern

0324074C

Kristallines Silizium Gesamtentwicklung [EB1014]

01170594/1  –  Prozess- und Anlagentechnologie zur kostengünstigen und ressourcenschonenden Herstellung von Silizium-Heterostruktursolarzellen mit hohem Wirkungsgrad

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Ziel des Teilvorhabens ist die Weiterentwicklung und Optimierung der nasschemischen Prozessschritte für die Herstellung der Silizium-Heterojunction-Solarzellen, wobei eine effiziente, kostengünstige und ressourcenschonende Prozessgestaltung im Vordergrund steht. So soll in erster Linie die Texturgröße sowie die Oberflächenbeschaffenheit an die Anforderungen des heißdraht-aktivierten, chemischen Gasphasenabscheidungsprozesses angepasst werden. Darüber hinaus sollen die Prozesszeiten der Texturierungs- und Trocknungsschritte verkürzt werden, so dass eine deutliche Reduzierung der Anlagenlänge erzielt werden kann. Für die Anwendung im Automobilbereich spielt neben dem Wirkungsgrad auch die optische Erscheinung der Solarzellen eine entscheidende Rolle. Daher sollen die Ätz-, Reinigungs- und Trocknungsprozesse so optimiert werden, dass fleckenfreie homogene Waferoberflächen gewährleistet werden können. Um die Prozesse kostengünstig und ressourcenschonend zu ermöglichen wird im Rahmen dieses Verbundprojektes die Optimierung des Chemie- und Wasserverbrauchs als weiteres Ziel verfolgt. Die optimale Prozesssequenz für das Erzeugen von im Hinblick auf ihren Wirkungsgrad und die optische Erscheinung besseren Zellen wird identifiziert und die gewonnenen Erkenntnisse aus der Optimierung der einzelnen Prozessschritte werden in die Konfiguration und das Design der Batchanlage einfließen.