Zeitraum
1993-10-01 – 1994-03-31
Bewilligte Summe
3.998,30 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Hamburg - Elektrotechnik, Informatik und Mathematik - Institut für Mikrosystemtechnik, Hamburg
Förderkennzeichen
0329536G/5
Zeitraum
1991-08-01 – 1993-09-30
Bewilligte Summe
75.723,54 EUR
Ausführende Stelle
Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Halle (Saale)
Förderkennzeichen
0329107H/5
Zeitraum
1991-04-01 – 1992-12-31
Bewilligte Summe
92.697,22 EUR
Ausführende Stelle
IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder)
Förderkennzeichen
0329107F/0
Zeitraum
1993-10-01 – 1996-09-30
Bewilligte Summe
124.831,91 EUR
Ausführende Stelle
Universität zu Köln - Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät - Fachgruppe Physik - II. Physikalisches Institut, Köln
Förderkennzeichen
0329536F/2
Zeitraum
1991-04-01 – 1993-09-30
Bewilligte Summe
130.879,17 EUR
Ausführende Stelle
Forschungsverbund Berlin e.V. - Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (IKZ), Berlin
Förderkennzeichen
0329107G/2
Zeitraum
1993-10-01 – 1996-09-30
Bewilligte Summe
164.568,38 EUR
Ausführende Stelle
Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Halle (Saale)
Förderkennzeichen
0329536E/0
Zeitraum
1994-04-01 – 1996-09-30
Bewilligte Summe
168.521,80 EUR
Ausführende Stelle
IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder)
Förderkennzeichen
0329536H/8
Zeitraum
1994-07-01 – 1996-09-30
Bewilligte Summe
170.998,50 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Bergakademie Freiberg - Fakultät für Chemie und Physik - Institut für Experimentelle Physik, Freiberg
Förderkennzeichen
0329536I/0
Zeitraum
1990-09-01 – 1993-09-30
Bewilligte Summe
173.021,17 EUR
Ausführende Stelle
Universität zu Köln - Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät - Fachgruppe Physik - II. Physikalisches Institut, Köln
Förderkennzeichen
0329107C/1
Zeitraum
1993-10-01 – 1996-10-31
Bewilligte Summe
176.612,15 EUR
Ausführende Stelle
Forschungsverbund Berlin e.V. - Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (IKZ), Berlin
Förderkennzeichen
0329536B/1