Verbundvorhaben: TOPCon_Cluster - Technologiecluster für die industrielle Fertigung von Solar-zellen mit Tunneloxid-passivierenden Kontakten; Teilvorhaben: Direkt-Plasma Abscheidung von TOPCon-Schichten
Zeitraum
2020-06-01 – 2023-11-30
Bewilligte Summe
172.965,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1065E
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01214934/1 – TopCon_cluster - Technologiecluster für die industrielle Fertigung von Solarzellen mit Tunneloxid-passivierenden Kontakten
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Im Projekt TOPCon Cluster schließen sich führende Anlagenhersteller aus Deutschland und das Fraunhofer ISE zusammen, um die Technologie-Basis für die industrielle Umsetzung von Solarzellen mit Tunneloxid-passivierenden Kontakten (Tunnel Oxide Passivating Contact, TOPCon) bereitzustellen. Ziel ist es, die Wettbewerbsfähigkeit der deutschen Anlagenbauer zu stärken, so dass diese am erwarteten starken Aufbau von auf TOPCon basierenden Produktionskapazitäten partizipieren können. Die Anlagenhersteller entwickeln im Rahmen des Projektes kostengünstige Hochdurchsatz-Maschinen und optimierte Einzelprozesse. Hierbei stehen die TOPCon-Schlüsseltechnologien im Vordergrund, insbesondere Herstellung des Tunneloxids sowie einseitige Abscheidung und Dotierung der Silicium-Schicht. Weitere wichtige Technologiefelder des Projektes sind einseitige nasschemische Ätzprozesse, die Ausbildung und Passivierung des Bor-dotierten Emitters und die Metallisierung der TOPCon Solarzelle. In diesem Teilvorhaben wird hauptsächlich die direkt-Plasma PECVD Abscheidung von undotiertem und dotierten Silicium sowie dotierter dielektrischer Schichten behandelt