Verbundvorhaben: PoLariS - Produktionstechnologie für die Laserbearbeitung kristalliner Siliziumsolarzellen der nächsten Generation; Teilvorhaben: Entwicklung innovativer Laseranlagenplattformen und Systemlösungen
Zeitraum
2019-09-01 – 2022-12-31
Bewilligte Summe
1.622.975,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1008A
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01187526/1 – PoLariS - Produktionstechnologie für die Laserbearbeitung kristalliner Siliziumsolarzellen der nächsten Generation
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Ziel des Projekts ist die Entwicklung, der Aufbau, die Erprobung und die Demonstration von einzelnen Technologiebausteinen im Laser-Anlagenbau, welche Schlüsselfunktionen für die Produktionsanlagen von morgen ermöglichen und so dazu beitragen, dass qualitativ hochwertigere Solarzellen günstiger hergestellt werden können. Diese Schlüsselfunktionalitäten sind: 1. Höhere Produktivität mit Anlagendurchsatz von > 6000 Zellen pro Stunde durch verbessertes Waferhandling, Wafertransport und schnelleren Laserprozess. 2. Minimierung der Leerlaufquelle der Strahlquelle durch einen kontinuierlichen Wafertransport während Laserbearbeitung und Bilderkennung. 3. Höhere Strahlpositioniergenauigkeit durch eine kontinuierliche Insitu- Positionsüberwachung des Wafers und Regelung der Strahlablenkung. 4. Verbesserte Alignierung durch innovative Mustererkennung und Regelung der Strahlablenkung. 5. Kleinere Strukturgrößen durch innovative optische Lösungen. 6. Verbesserte Prozessqualität durch angepasste Konditionierung des Wafers während des Bearbeitungsprozesses (z.B. Werkstofftemperatur, Atmosphäre, Absaugung, etc…) Dieses Projekt dient somit auch dazu, im Labor nachgewiesene Fortschritte in Laserprozesstechnologie in ein Produktionsumfeld übertragen zu können.
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