2019-01-01  –  2021-12-31

1.031.060,00 EUR

LayTec Aktiengesellschaft, Berlin, Berlin

0324237B

Konzentrierende Photovoltaik (CPV) Zellenentwicklung [EB1031]

01185010/1  –  MOCVD4.0 - Optimierte Produktion von Verbindungshalbleitern für erhöhte Wirkungsgrade in der Energieversorgung

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Insbesondere durch den hohen Kostendruck werden die Anforderungen an die MOCVD-Technologie stetig höher angesetzt, um effizienter und schneller reproduzierbare Ergebnisse auf höchsten Niveau zu erzielen. Da MOCVD-Prozesse Vorgänge mit einer immensen Anzahl an Parametern darstellen, die zum Teil sogar stark nichtlinear miteinander korrelieren, ergibt sich daraus die Notwendigkeit, diese möglichst präzise und reproduzierbar zu erfassen, zu kontrollieren und zu regeln. Damit solche Regelungen in Echtzeit durchgeführt werden können ohne den Herstellungsprozess zu verlangsamen oder gar zu unterbrechen, müssen geeignete in-situ Messverfahren eingesetzt werden, die genau diejenigen Parameter überwa-chen, die den größten Einfluss auf den Prozess bzw. auf das Ergebnis haben. Das beinhaltet effektviere Prozesskontrolle unter anderem mittels optischer in-situ Messtechnik, Regelschleifen, stärkere Vernetzung der Systeme und Daten sowie Verbesserung der Schichthomogenität und Vergrößerung der Substrate. Weitere Komplexität ergibt sich durch die Notwendigkeit zunehmend auch die Epitaxie-Strukturen kundenspezifisch zu modifizieren, da die Industrie einem zunehmend schnellen Wandel unterworfen ist. Eine Verbesserung der Prozesskontrolle ist daher auch nötig, um die internationalen Anforderungen einer vielseitigen, hochflexiblen Schlüsseltechnologie mit häufig wechselnden Kundenanforderungen zu erfüllen. LayTec wird sich daher in diesem Teilprojekt mit der Weiterentwicklung und Verbesserung der in-situ und der dem Prozess nachgelagerten in-line Messtechnik als unverzichtbare Grundlage für die Prozesskontrolle und als Basis für Regelschleifen beschäftigen. Es werden alle wichtigen Aspekte von der primären Messdatenerfassung, über die Analyse und Auswertung, die Integration in den MOCVD-Prozess für Regelschleifen, die industrietaugliche Visualisierung der Ergebnisse sowie die Kalibrierung der Messverfahren und -geräte, adressiert.