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Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Anlagentechnischen Konzepte für die dynamische Abscheidung von TCO bzw. aSi Schichten

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
874.603,12 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0324293A

Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Entwicklung des vorderseitigen Kontaktsystems

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
900.496,00 EUR
Ausführende Stelle
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie Gesellschaft mit beschränkter Haftung - Institut Materialien für die Photovoltaik (E-I5), Berlin
Förderkennzeichen
0324293B

Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Optimierung der PECVD Linearquellentechnologie zur dynamischen Abscheidung von a-Si-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
168.991,93 EUR
Ausführende Stelle
FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden, Dresden
Förderkennzeichen
0324293C

Verbundvorhaben: DYNASTO – Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellungskosten; Teilvorhaben: Dynamische PECVD für Hocheffizienz Si-Solarzellen - Grundlagenuntersuchungen

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
265.693,49 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0324293D

Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Evaluierung Prozess- und Anlagentechnologie zur dynamischen Abscheidung von a-Si:H Schichten für hocheffiziente Si-Solarzellen

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
801.493,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0324293E

Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Entwicklung eines spektralen, optischen Messverfahrens zur offline und inline Prozesskontrolle u. -optimierung von TCO-Schichten

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
147.815,50 EUR
Ausführende Stelle
NXT GmbH, Heinsberg
Förderkennzeichen
0324293F

Verbundvorhaben: DYNASTO- Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben:Echtzeit-Plasmaprozesskontrolle u. Kammerzustandsüberwachung dur ch spektroskopischem Plasmamonitoring und In-situ Reflektometrie

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
107.561,85 EUR
Ausführende Stelle
Plasus GmbH, Mering
Förderkennzeichen
0324293G

Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Modulintegration und Langzeitstabilität.

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
156.596,00 EUR
Ausführende Stelle
Kiwa PI Berlin AG, Berlin
Förderkennzeichen
0324293H