Verbundvorhaben: Epi-POESIE - Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitender Charakterisierung an statistisch relevanten Stückzahlen, Teilvorhaben: Optimierung von Hochdurchsatz-Prozessen und Anlagen für die Herstellung epitaktischer Wafer
Zeitraum
2018-10-01 – 2020-12-31
Bewilligte Summe
1.065.271,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324290A
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
01183193/1 – Epi-POESIE - Epitaktische Wafer für High-End-Zellkonzepte unter Zuhilfenahme von prozessbegleitender Charakterisierung an statistisch relevanten Stückzahlen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Die Kosten für den Siliciumwafer einer Siliciumsolarzelle machen ca. 40% der Solarzellenmodulkosten aus. Diese gilt es signifikant zu reduzieren, um die Ziele des 6. Rahmenprogramms zu erreichen. Die epitaktisch gewachsenen Wafer (EpiWafer) - Technologie bietet hierbei enorme Kostensenkungspotentiale für photovoltaisch erzeugte Elektrizität. EpiWafer können bis zu 50% günstiger produziert werden verglichen mit herkömmlichen einkristallinen Siliciumwafern und können potentiell sogar höhere Qualitäten erreichen. In Laboranlagen konnten EpiWafer bereits die Qualität von einkristallinen Czochralskiwafern übertreffen. Beim Übertrag der Prozesse auf hochdurchsatztaugliche Verfahren und Anlagen konnte bisher dieselbe Qualität noch nicht demonstriert werden. Ziel des Verbundvorhabens ist es die Qualität, insbesondere die Ladungsträgerlebensdauer von EpiWafern aus Inline-Anlagen, die für die industrielle Produktion geeignet sind zu erhöhen, um industrielle Solarzellenkonzepte mit hohem Wirkungsgradpotential zu bedienen. In dem Teilvorhaben sollen Hochdurchsatzprozesse für die Silicium(Si)-Porosizierung und Si-Epitaxie entwickelt und statistisch qualifizierte hochqualitative EpiWafer hergestellt werden.
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